Phòng sạch chống tĩnh điện

Các chuẩn dành riêng cho phòng sạch chống tĩnh điện

  • Tiêu chuẩn ISO 14644: Hệ thống phân loại phòng sạch theo cấp độ bụi bẩn.
  • Tiêu chuẩn ANSI/ESD S20.20: Quy trình kiểm soát tĩnh điện trong phòng sạch.
  • Tiêu chuẩn IEC 61340-5-1: Yêu cầu về điện trở suất bề mặt cho vật liệu sử dụng trong phòng sạch.